薄膜压电MEMS压电相干术语
压电相干术语
对于压电相干术语的扼要申明。
| 术语 | 申明 |
|---|---|
| 压电(Piezo) | 指压电元件（piezoelectric element、piezoelectric device） |
| 压电效应 | 经由过程施加力（压力）发生电压的景象 |
| 逆压电效应 | 经由过程施加电压发生变形的景象 |
| 压电元件 | 操纵压电效应、逆压电效应的整机、元件 |
| 传感器 | 操纵迷信道理将景象和信息等转换为电信号等的装配 |
| 履行机构 | 将电等动力转换为机器活动，用于运转装备的驱动装配 |
| 离子 | 指因电子多余或缺失而照顾电荷的原子 |
| 压电材料 | 表现压电性的结晶性物资的统称 |
| 压电单晶 | 材料内部的晶体布局平均持续的压电材料 |
| 压电陶瓷 | 具有晶粒布局或畴壁布局的压电体 |
| 晶粒布局 | 在多晶体中，2个以上的小晶体之间存在的界面 |
| 畴壁布局 | 晶体内存在极化标的目标差别的边境的布局 |
| 极化 | 置于电场或磁场时发生正负电化，或是发生磁极的景象 |
| PZT | 指锆钛酸铅（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1） |
| 溅射 | 使高能粒子撞击金属外表，操纵飞出的原子停止制膜的体例 |
| CSD | 经由过程涂布、烧成金属无机酸盐或化合物溶液组成薄膜的体例 |
| 溶胶凝胶法 | CSD的一种。经由过程对溶胶状况的液体停止加热、烧成来取得薄膜的体例 |
| 溶胶状况 | 以液体为分离介质的胶体（例：番笕水、浆糊、蛋清、牛奶、蛋黄酱等） |
| 凝胶状况 | 溶胶状况损失活动性后的状况 |
| MOCVD | 无机金属气相堆积法，操纵无机金属和蔼体作为质料的晶体发展体例 |
| 占板面积 | 据有面积，这里指设置装配时操纵的面积 |
| 压电体 | 指经由过程施加应力发生极化（电压）的介电体 |
| 热释电体 | 即便不从内部施加电场，也能够自觉极化的压电体 |
| 铁电体 | 从内部施加电场能够使极化标的目标反转的热释电体 |
| 薄膜压电 | 指压电材料的厚度约为几μm的压电元件 |
| 块体压电 | 指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件 |
罗姆团体为完成客户的创意、设想，供给“薄膜压电MEMS代工办事”。
下頁是对于MEMS及其关头手艺的扼要申明。
