压电（Piezo）
何谓压电？
压电表现压电元件（Piezoelectric Element、Piezoelectric Device），压电元件是指经由过程施加力（压力）发生电压（压电效应），或与之相反，经由过程施加电压发生变形（逆压电效应）的元件。
压电元件操纵具备压电效应的压电材料。施力时，（+）正离子、（-）负离子的地位会挪动，发生（+）和（-）电荷的偏移（电极化），从而发生电压。
操纵压电效应的首要用处是传感器，操纵逆压电效应的首要用处是履行机构。
压电材料的品种
压电材料大抵分为单晶、陶瓷、薄膜等。
罗姆接纳的是操纵锆钛酸铅（PZT）的薄膜压电。
PTZ取自元素标记（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1）的首字母，压机电能很是强，称得上是压电元件的配角。
薄膜压电和块体压电
大抵将厚度约为几μm的叫作薄膜压电（压电薄膜），几十μm以上的叫作块体压电（厚膜压电）。
操纵薄膜压电能够完成元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。
薄膜PZT的成膜体例
天生薄膜PZT的体例有溶胶凝胶法、溅射法、MOCVD法等。下表汇总了其各自的特色。
| 溶胶凝胶法 | 溅射法 | MOCVD法 | |
|---|---|---|---|
| 将溶胶状况的液体涂布在电路板上，经由过程加热、烧成使其成膜。为了取得所需的膜厚，根基上须要将上述轮回反复屡次 | 用高能Ar离子撞击方针，使撞击发生的方针物资附着在电路板上成膜。 | 向反映室内通入化合物气体，操纵温度和等离子体增进气体化学反映，成膜温度较低。 | |
| 压机电能 | 很是好 | 很是好 | 不肯定 |
| 吞吐量 | 普通 | 好 | 差 |
| 靠得住性 | 很是好 | 普通 | 好 |
| 均一性 | 很是好 | 好 | 好 |
| 极化不变性 | 普通 | 好 | 普通 |
| 用度 | 普通 | 普通 | 普通 |
| 操纵 | Actuator （1～3μm） |
Actuator or Sensor （1～5μm） |
FeRAM （＜100nm） |
罗姆的薄膜压电MEMS代工为完成融会自有薄膜压电和LSI微细加工手艺的小型、节能、高机能产物，供给从试制、开辟到量产的全程撑持。
下页是 对于压电相干术语 语的扼要总结。
